高純度液氮發(fā)生器的工作原理主要基于空氣分離和液化的物理過程，具體步驟如下：

空氣壓縮：將空氣壓縮至一定壓力，為后續(xù)分離和液化過程提供條件。

預(yù)處理：去除空氣中的水分、二氧化碳等雜質(zhì)，防止它們在低溫下凍結(jié)并堵塞管道或損壞設(shè)備。

分離：利用變壓吸附（PSA）等技術(shù)，將空氣中的氮氣與其他氣體分離，得到高純度的氮氣。

氮氣冷卻與液化：將分離出的高純度氮氣通過深冷混合工質(zhì)節(jié)流制冷工藝、逆向斯特林循環(huán)制冷技術(shù)或脈管低溫制冷機工藝等，冷卻至氮氣的沸點以下，使其液化成液氮。

液氮收集與儲存：將液化后的氮氣收集并儲存于絕熱的壓力容器中，以保持其低溫狀態(tài)。

操作要點

開機前檢查氣源、電源、冷卻水，確保無泄漏。

一鍵啟動，設(shè)備全自動制氮、液化、儲存，液位滿自動停機。

取液用真空絕熱管道，避免凍傷與污染。

長期停用：排空液氮、保持杜瓦罐真空、每月通電自檢。